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●Research系列高真空中频感应炉,主要用于在高温、高真空环境或低压气氛保护下,对功能材料进行蒸发提纯、热处理、烧结、熔炼、生长等工艺制程,该设备采用公司专有高真空系统,能防止高温工艺制程对非金属功能材料表面的影响和侵蚀,采用中频感应电源加热匹配感应线圈,对石墨、铱金、钼、钨等难 |
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1. 用途: 本设备用于电子器件在真空中钎焊、退火、回火、除气工艺。 2. 主要技术资料: 2.1 工作温度:600-1400℃(工作温度) 2.2 温度均匀性:5℃ (600℃保温半小时测试) 2.3 有效工作区尺寸:定制 2.4 满载重量:定制 2.5 工作真空度:810-5Pa 3. 结构说明及工作原理: 本设备由炉 |
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●Surpass系列 干法刻蚀机,特别适合于大口径、高均匀性和有特殊微纳结构的基片刻蚀,刻蚀尺寸可达2500mm,通过高密度等离子体及离子浓度修正系统,可达到基片有效刻蚀区域内均匀性较高的技术指标,满足大口径基片刻蚀的需求。 |
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●本设备主要用于半导体刻蚀,能够兼容离子束刻蚀和反应离子刻蚀功能,使用气态化学刻蚀剂与材料产生反应来进行刻蚀,并形成可从衬底上移除的挥发性副产品,通过真空系统排出,特别适合刻蚀熔融石英、硅、光刻胶、聚酷亚胺( PI) 薄膜、金属等材料。 |
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●该设备为公司根据客户工艺需求定制,与中国科学院某研究所国家重点实验室联合研制,先后获得奖励3项,联合申报国家专利2项,用于固体润滑、防腐和超硬表面改性等领域,服务于科研和国家重大项目需求,具有多功能、高稳定和国内首创的特点,欢迎各位联合研制。 ●设备主要由真空腔体、真空系统 |
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●设备主要由真空腔体、真空系统、工件盘系统、烘烤系统、溅射系统、过渡仓、磁力机械手、离子轰击系统、充气系统和在线测量系统组成,同时匹配空气压缩气体气源和水冷系统,可根据客户使用需求定制。 ●真空腔体:650X700双层水冷;(可根据实际需求定制) ●真空系统:分子泵+低温泵+罗茨泵+机 |
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●该设备用于纳米级单层或多层膜、类金刚石薄膜、金属膜、导电膜、半导体膜和非导电膜等功能薄膜的制备,可实现共溅射,直流、射频兼容,适于科研院所和企业进行功能薄膜研发、教学和新产品开发,同时可在微米级粉末或颗粒上沉积薄膜进而达到表面改性的功能。建议选用公Research系列磁控溅射平台。 |
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●该设备用于纳米级单层或多层膜、类金刚石薄膜、金属膜、导电膜、半导体膜和非导电膜等功能薄膜的制备,可实现共溅射,直流、射频兼容,特别适于科研院所和企业进行功能薄膜研发、教学和新产品开发,同时可在微米级粉末或颗粒上沉积薄膜进而达到表面改性的功能。是替代钟罩式磁控溅射的理想选择。 |
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1. 主体:全封闭框架结构,真空室为前开门方式,机柜和主机为一体式机构。采用优质0Cr18Ni9不锈钢材料(SUS304),箱体尺寸为不小于350X400mm。设置DN100观察窗口,位于真空腔体门正前方,骨架默认白色(或铝合金本色),门板为白色,四只脚轮,可固定,可移动。室体、真空机组、磁控靶等有断水报 |
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●主要功能:多靶复合磁控溅射镀膜机,可满足合金膜、单层膜、多层膜、导电膜、非导电膜和反应溅射的需要,具有极高的实用性和通用性(三靶、垂直与共溅射合一、在线清洗基片等),能够提供高水平功能薄膜研制,特别适合于半导体、新能源、磁性材料、储氢材料、二维材料、超硬薄膜、固体润滑薄膜、 |
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●本装置使用电阻蒸发、电子束蒸发和离子源辅助清洗、辅助沉积和原位刻蚀进行复合,用于制备特种薄膜,薄膜具有均匀性、附着力、抗损伤、低颗粒物污染等特点,是半导体制程中关键工序的核心装备,其技术长期被美国、日本等国技术巨头所垄断,属于国内卡脖子装备,也是制约国内半导体领域自主可控的 |
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●本设备在成都光学镀膜机产业链发达基础上,在核心部件、控制系统和结构设计上吸收国际一流产品技术精髓,开发出surpass系列产品。本设备适用于高精密光通讯产品镀制光学膜: 电学膜、金属膜、激光膜、冷光膜、分光膜、增透膜、各种滤光片、玻璃片及塑胶(树脂)件上镀制增透膜、带通膜和截止膜等 |
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●近距红外蒸发真空镀膜机正式推向市场,探索薄膜太阳能电池,如CdTe、硫化物和钙钛矿结构太阳能电池的重要手段,也用于有机柔性薄膜制备,为公司专利产品一种近距红外热蒸发真空镀膜机,专利号:CN201920208976.6,接受桌面式和一体式定制。 ●真空腔体:根据客户需求定制。 ●真空漏率:1X10 |
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●形式:箱式一体机,立式前开门,蒸发室和抽气室为整体焊接式,沉积腔采用SUS304真空氩弧焊成型不,一体机系统,可连接单排双工位手套箱,中间用DN150超高真空插板阀隔断。 ●真空系统:极限真空5X10-4Pa,主泵为复合分子泵,抽速600L/S,前级泵配置直联泵,主阀匹配。 ●真空测量:配数字复合真 |
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●该设备可选配电阻、电子束或电阻电子束复合镀膜系统,过流部件均采用SUS304制造,真空系统后置,标准配置分子泵系统,标配工业级人机界面和西门子PLC系统,手动和自动模式自由切换,能够满足工业客户小批量生产和科研院所客户科研实验的需求。该系列设备不提供全手动操作控制系统。 |
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●该设备为电阻、电子束或电阻电子束复合镀膜系统,同时兼容IBE等离子刻蚀和在线辅助镀膜,过流部件均采用SUS304制造,真空系统后置,标准配置分子泵系统,标配工业级人机界面和西门子PLC系统,手动和自动模式自由切换,能够满足工业客户小批量生产和科研院所客户科研实验的需求。该系列设备不提供 |
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废气处理设备的主要功能是处理工业生产过程中产生的废气,以减少废气对环境的影响。这些设备通过不同的工艺和控制技术,对废气进行净化、吸收、吸附、燃烧等处理,使其符合国家排放标准,保护环境,提高工作效率。 废气处理设备具有以下功能特点: 高效净化:废气处理设备能够高效地去除废气中 |
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●本设备适用于高精密光通讯产品镀制光学膜, 电学膜、金属膜、激光膜、冷光膜、分光膜、增透膜、各种滤光片、玻璃片及塑胶(树脂)件上镀制增透膜和截止膜等各种膜系镀膜。为满足广大用户的不同需求,我公司可接受多种形式的真空镀膜机的定制要求,包括对真空室体尺寸、真空系统配置、工件夹具系 |
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垃圾转运站除臭系统设备:在城市化进程中,垃圾作为城市代谢的产物曾经是城市发展的负担,世界上许多城市均有过垃圾围城的局面。中国仅每年就产生近1.5亿吨城市垃圾。中国城市生活垃圾累积堆存量已达70亿吨。在如此巨大的垃圾压力下,垃圾的消毒除臭非常重要,会影响到城市的环保与人们健康。 垃圾转运 |
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垃圾喷雾除臭装置是一种专门用于垃圾中转站等垃圾处理场所的除臭装置。该装置通过高压喷雾技术,将除臭剂或消毒液雾化成微小颗粒,以增加与恶臭气体的接触面积,加速恶臭气体的治理。 该装置通常由以下部件组成: 主机:包括高压泵、控制系统、水箱等部件,是装置的核心部分。 喷嘴:用于 |
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