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●Surpass系列 干法刻蚀机,特别适合于大口径、高均匀性和有特殊微纳结构的基片刻蚀,刻蚀尺寸可达2500mm,通过高密度等离子体及离子浓度修正系统,可达到基片有效刻蚀区域内均匀性较高的技术指标,满足大口径基片刻蚀的需求。 |
供 应 商: | 成都汉普升科技有限公司 [四川] |
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产品介绍: |
●本设备主要用于半导体刻蚀,能够兼容离子束刻蚀和反应离子刻蚀功能,使用气态化学刻蚀剂与材料产生反应来进行刻蚀,并形成可从衬底上移除的挥发性副产品,通过真空系统排出,特别适合刻蚀熔融石英、硅、光刻胶、聚酷亚胺( PI) 薄膜、金属等材料。 |
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●该设备为公司根据客户工艺需求定制,与中国科学院某研究所国家重点实验室联合研制,先后获得奖励3项,联合申报国家专利2项,用于固体润滑、防腐和超硬表面改性等领域,服务于科研和国家重大项目需求,具有多功能、高稳定和国内首创的特点,欢迎各位联合研制。 ●设备主要由真空腔体、真空系统 |
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产品介绍: |
●设备主要由真空腔体、真空系统、工件盘系统、烘烤系统、溅射系统、过渡仓、磁力机械手、离子轰击系统、充气系统和在线测量系统组成,同时匹配空气压缩气体气源和水冷系统,可根据客户使用需求定制。 ●真空腔体:650X700双层水冷;(可根据实际需求定制) ●真空系统:分子泵+低温泵+罗茨泵+机 |
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●该设备用于纳米级单层或多层膜、类金刚石薄膜、金属膜、导电膜、半导体膜和非导电膜等功能薄膜的制备,可实现共溅射,直流、射频兼容,适于科研院所和企业进行功能薄膜研发、教学和新产品开发,同时可在微米级粉末或颗粒上沉积薄膜进而达到表面改性的功能。建议选用公Research系列磁控溅射平台。 |
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●该设备用于纳米级单层或多层膜、类金刚石薄膜、金属膜、导电膜、半导体膜和非导电膜等功能薄膜的制备,可实现共溅射,直流、射频兼容,特别适于科研院所和企业进行功能薄膜研发、教学和新产品开发,同时可在微米级粉末或颗粒上沉积薄膜进而达到表面改性的功能。是替代钟罩式磁控溅射的理想选择。 |
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1. 主体:全封闭框架结构,真空室为前开门方式,机柜和主机为一体式机构。采用优质0Cr18Ni9不锈钢材料(SUS304),箱体尺寸为不小于350X400mm。设置DN100观察窗口,位于真空腔体门正前方,骨架默认白色(或铝合金本色),门板为白色,四只脚轮,可固定,可移动。室体、真空机组、磁控靶等有断水报 |
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●主要功能:多靶复合磁控溅射镀膜机,可满足合金膜、单层膜、多层膜、导电膜、非导电膜和反应溅射的需要,具有极高的实用性和通用性(三靶、垂直与共溅射合一、在线清洗基片等),能够提供高水平功能薄膜研制,特别适合于半导体、新能源、磁性材料、储氢材料、二维材料、超硬薄膜、固体润滑薄膜、 |
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●本装置使用电阻蒸发、电子束蒸发和离子源辅助清洗、辅助沉积和原位刻蚀进行复合,用于制备特种薄膜,薄膜具有均匀性、附着力、抗损伤、低颗粒物污染等特点,是半导体制程中关键工序的核心装备,其技术长期被美国、日本等国技术巨头所垄断,属于国内卡脖子装备,也是制约国内半导体领域自主可控的 |
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●本设备在成都光学镀膜机产业链发达基础上,在核心部件、控制系统和结构设计上吸收国际一流产品技术精髓,开发出surpass系列产品。本设备适用于高精密光通讯产品镀制光学膜: 电学膜、金属膜、激光膜、冷光膜、分光膜、增透膜、各种滤光片、玻璃片及塑胶(树脂)件上镀制增透膜、带通膜和截止膜等 |
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●近距红外蒸发真空镀膜机正式推向市场,探索薄膜太阳能电池,如CdTe、硫化物和钙钛矿结构太阳能电池的重要手段,也用于有机柔性薄膜制备,为公司专利产品一种近距红外热蒸发真空镀膜机,专利号:CN201920208976.6,接受桌面式和一体式定制。 ●真空腔体:根据客户需求定制。 ●真空漏率:1X10 |
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●形式:箱式一体机,立式前开门,蒸发室和抽气室为整体焊接式,沉积腔采用SUS304真空氩弧焊成型不,一体机系统,可连接单排双工位手套箱,中间用DN150超高真空插板阀隔断。 ●真空系统:极限真空5X10-4Pa,主泵为复合分子泵,抽速600L/S,前级泵配置直联泵,主阀匹配。 ●真空测量:配数字复合真 |
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●该设备可选配电阻、电子束或电阻电子束复合镀膜系统,过流部件均采用SUS304制造,真空系统后置,标准配置分子泵系统,标配工业级人机界面和西门子PLC系统,手动和自动模式自由切换,能够满足工业客户小批量生产和科研院所客户科研实验的需求。该系列设备不提供全手动操作控制系统。 |
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●该设备为电阻、电子束或电阻电子束复合镀膜系统,同时兼容IBE等离子刻蚀和在线辅助镀膜,过流部件均采用SUS304制造,真空系统后置,标准配置分子泵系统,标配工业级人机界面和西门子PLC系统,手动和自动模式自由切换,能够满足工业客户小批量生产和科研院所客户科研实验的需求。该系列设备不提供 |
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●本设备适用于高精密光通讯产品镀制光学膜, 电学膜、金属膜、激光膜、冷光膜、分光膜、增透膜、各种滤光片、玻璃片及塑胶(树脂)件上镀制增透膜和截止膜等各种膜系镀膜。为满足广大用户的不同需求,我公司可接受多种形式的真空镀膜机的定制要求,包括对真空室体尺寸、真空系统配置、工件夹具系 |
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产品简介 真空冲洗系统通过真空阀将存水室中的空气抽出,形成一定的真空度,由于调蓄池内气压高于存水室,使存水室内的 液位升高至设定液位。当调蓄池需要冲洗时将存水室顶部的隔膜阀打开,真空破坏,瞬间将储水释放,底部喷射出的水具有很大的动能,形成强力的、席卷式的射流将池底的沉积物 |
供 应 商: | 江苏盛世浩润环保科技有限公司 [不限] |
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产品介绍: |
加工定制 : 是 型号 : ZSR-0.5 操作压力 : |
供 应 商: | 佛山市中顺水处理科技有限公司 [广东] |
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DKZ61H真空闸阀 试验压力 公称压力 PN/MPa Nominal pressure 试验压力/MPa Seal test 壳体强度试验 Shellslrenght test 上密封试验 |
供 应 商: | 浙江渤工阀门有限公司 [不限] |
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产品介绍: |
TSD系列炉温测试仪,广泛用于涂装,热处理,陶瓷,钢铁,钎焊,波峰焊回流焊,真空镀膜,电池烧结,锂电池烘干,光伏组件层压,滚塑工艺,玻璃烤弯,丝印,食品烘培烤制等行业与工艺。 |
供 应 商: | 苏州珺洋电子科技有限公司 [江苏] |
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定压补水装置 产品概述: 定压补水装置由囊式压力罐、水泵、控制箱、底架、压力感应装置、管道阀门等组合而成,是一种兼有升压、调节、储水、供水等多种功能的常用供水设备。 用途: ●用于生产、消防、生活系统加压供水,一般称之为囊式自动给水装置。 ●用于采暖、空 |
供 应 商: | 江苏纳元智造科技有限公司 [不限] |
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