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1~6维压电纳米定位台 快刀伺服定位器

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机:暂无

话: 021-54668263

址: 上海市徐汇区虹梅路2008号 3幢312室

商品信息

  技术数据

产品型号

PS3H30-005U

PS3H30-005U-S

公差

运动自由度

X、Y、Z

X、Y、Z

-

传感器类型

-

Strain Gage

-

标称行程范围(@0~+120V)

5.5 μm/

5.5 μm/

±20%

最大行程范围(@-20~+150V)

8.0 μm/

8.0 μm/

±20%

分辨率

0.1 nm

0.2 nm

typ.

重复定位精度

-

0.05% F.S.

typ.

线性度

-

0.1% F.S.

typ.

承载能力

5 N

5 N

Max.

谐振频率

0g

(X)1.6 KHz、(Y)1.6 KHz、(Z)2.8 KHz

((X)1.6 KHz、(Y)1.6 KHz、(Z)2.8 KHz

±20%

静电容量

0.68 μF/

0.68 μF/

±20%

工作温度范围

-10~+70 ℃

-10~+70 ℃

-

驱动电压范围(推荐)1

0~+120 V

0~+120 V

typ.

线缆长度

1.5 m/

1.5 m/

±10mm

外形尺寸(LxWxH)

30×30×42 mm

30×30×42 mm

-

重量

0.2 Kg

0.2 Kg

±5%

本体材质2

(B)

(B)

-

 说明:

1.最大驱动电压可在-20V~+150V使用;长期使用建议在0~120V驱动电压下可延长使用寿命。

2.表面处理:白色(W)/黑色(B)。