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1~3维压电扫描台 压电位移台 压电偏摆镜

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机:暂无

话: 021-54668263

址: 上海市徐汇区虹梅路2008号 3幢312室

商品信息

  技术数据

产品型号

PS3L40-080U

PS3L40-080U-S

公差

运动自由度

X、Y、Z

X、Y、Z

-

传感器类型

-

Strain Gage

-

标称行程范围(@0~+120V)

80 μm/轴

80 μm/轴

±20%

最大行程范围(@-20~+150V)

105 μm/轴

105 μm/轴

±20%

分辨率

5 nm

7 nm

typ.

重复定位精度

-

0.05% F.S.

typ.

线性度

-

0.2% F.S.

typ.

承载能力

5 N

5 N

Max.

刚度

0.7 N/μm

0.7 N/μm

±20%

谐振频率

0g

(X)200 Hz、(Y)150 Hz、

(Z)100 Hz

(X)200 Hz、(Y)150 Hz、

(Z)100 Hz

±20%

静电容量

1.6 μF/轴

1.6 μF/轴

±20%

工作温度范围

-10~+70 ℃

-10~+70 ℃

-

驱动电压范围(推荐)1

0~+120 V

0~+120 V

typ.

线缆长度

1.5 m

1.5 m

±10mm

外形尺寸(LxWxH)

40×40×36.5 mm

40×40×36.5 mm

-

重量

0.15 Kg

0.15 Kg

±5%

本体材质2

铝(B)、钢

铝(B)、钢

-