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晶圆自动切割机

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机:13681672788

话: 021-57156332

址: 上海市奉贤区广丰路1110号

商品信息

 晶圆自动激光切割机/SA-IR20W-A(底相机对准)型,相比传统机型增加自动上下料功能,主要为:增加底部相机、增加底部成像镜头、增加底部成像光源,可实现晶圆片底部对准,保留原有上相机功能,可实现正切和背切功能,增加自动取料,自动对位,自动下料功能。

技术规格                     项目                                   单位                              数值
对准方式                                                 底部对准,兼容顶部对准 
最大加工尺寸               承片台                                   inch                             5英寸
最大切割深度               单晶硅                                  um                            ≤150微米
                                  激光器功率                             W                                20瓦
                                  激光器波长                             nm                             1064nm红外
激光器                        重复频率                                KHZ                             20千-80千赫兹
                                  切割线宽                                um                               40-60微米
切割参数                     切割速度                               mm/s                            150毫米每秒
工作台承载方式           大理石                                   mm                               厚度100毫米
                                  电源                                       AC                               两相220-240V50HZ
                                  最大耗电量                             KW                                2.0千瓦
                                  压缩空气供给压力                   MPa                               0.5-0.8兆帕
其他规格                     排风量(工厂自备)                 m³/min                           3立方每分钟
                                 设备尺寸(W*D*H)                mm                               980*1270*1740毫米
                                 设备重量                                  kg                                   660千克
                                  排风口口径                              mm                                 50毫米

1)控制系统由专用PIC程序+电脑主机构成,故障率低,可靠性高,操作简单,易于维护。
2)切割传动方式通过直线电机传动,提高设备切割精度。
3)上下料传动采用电机传动。
4)上料采用感应器检测,无料,自动报警。
5)CCD自动对位。
6)收集盒方便取放。